Institut für Mikrosystem- und Halbleitertechnik

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Technische Universität Chemnitz

Institut für Mikrosystem- und Halbleitertechnik

Reichenhainer Straße 70, 09126 Chemnitz

Mikrosystemtechnik

Zugehörige Einrichtungen

  • Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
    • Elektrotechnisches Institut
    • Honorarprofessur für Technologien der Nanoelektronik
    • Institut für Automatisierung
    • Institut für Informationstechnik
    • Institut für Mikrosystem- und Halbleitertechnik
    • Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
  • Fakultät für Human- und Sozialwissenschaften
  • Fakultät für Informatik
  • Fakultät für Maschinenbau
  • Fakultät für Mathematik
  • Fakultät für Naturwissenschaften
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  • Internationales Universitätszentrum (IUK)
  • Philosophische Fakultät
  • Universitätsbibliothek
  • Zentrum für Lehrerbildung (ZLB)
  • Zentrum für Materialien, Architekturen und Integration von Nanomembranen (MAIN)